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本发明涉及基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测装置及方法。该装置包括参考臂、耦合器、宽带光源、数据采集与处理模块、测量臂配合连接而成。参考臂由准直镜、平面反射镜、运动导轨组成；数据采集与处理模块由计算机、数据采集卡、光电探测器组成；测量臂由光纤滑环、螺旋进给装置、探头、待测小径管组成。宽带光源发出的光经耦合器变为两路分别经过参考臂与测量臂，并通过反射再次经过耦合器后被数据采集与处理模块检测，得到待测小径管内腔的形貌。本发明还提供了基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测方法。与现有技术相
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113758442 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111134573.X
(22)申请日 2021.09.27
(71)申请人 中国科学院沈阳自动化研究所
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