红外探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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红外探测器及其制备方法.pdf

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本申请提供一种红外探测器及其制备方法，涉及红外探测器技术领域，该红外探测器包括基底、牺牲层以及微桥结构；牺牲层设置在基底上，牺牲层内设置有连接孔；微桥结构的部分设置在所述连接孔内，且位于该连接孔内的所述微桥结构与设置在所述基底内的电路电连接。本申请通过对微桥结构进行改进，使得微桥结构包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，与相关技术中，微桥结构仅包括一层导电层的技术方案相比，增加了微桥结构的厚度，进而降低了微桥结构的电阻，提高了红外探测器的性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113764539 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202111047813.2 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人上海集成电路研发中心有限公司