一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdf

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本发明公开的属于多晶铸锭炉技术领域，具体为一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，包括铸锭炉体，所述铸锭炉体下侧设置有支撑架，所述铸锭炉体中设置有导热板，所述导热板上侧放置有坩埚，所述坩埚上侧设置有固定座，所述固定座与铸锭炉体上端之间安装有加热器升降装置，所述固定座上侧中部安装有上加热器，通过隔热箱提升装置的设置，隔热箱提升装置能够带动隔热箱上下移动，且配合封板升降装置带动封板上下移动，使隔热箱和封板之间能够接触配合，封闭隔热箱，上加热器和侧加热器产生的热量集中在隔热箱内腔中，向隔热箱外侧的逸散量

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113755945 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202111053463.0 (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人扬州晶樱光电科技有限公司