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一种射频离子源中和器的电极.pdfVIP

一种射频离子源中和器的电极.pdf

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    本发明公开了一种射频离子源中和器的电极，所述电极为非闭环的杯状体，在杯状体的环上设置有两个以上缺口，在所述杯状体的环上，缺口设置有2N‑1个，其中，N为不含0和1的自然数；其中一个缺口开口中线与环口的开口中线为同一中线；剩余缺口中以环的中心线为对称轴，相对的两个缺口的开口中线为同一中线，解决现有技术的不足之处，将该电极应用到射频离子源中和器中，能够使得更多的射频能量进入陶瓷杯内，增加离化效率，又不是很大的减少电子发射的效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113782407 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202111047642.3 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人 四川锦成国泰真空设备有限公司

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