- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
传感器包括基材、氧化物层、膜、电极和沟槽。氧化物层设置在基材上。膜位于氧化物层上。膜与氧化物层和基材在其中形成封闭腔室。膜包括刚性部分和可变形部分,其中,膜的可变形部分响应于刺激而变形。氧化物层形成腔室的侧壁。电极位于基材上和腔室内。沟槽形成于氧化物层中,并且其中,沟槽覆盖有阻隔材料。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113785178 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202080032617.5 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
您可能关注的文档
- 基板图案填充组合物及其使用.pdf
- 电动工具的无传感器电机控制.pdf
- 用于预防和/或改善光老化和/或真皮色素沉着的方法、装置、和抗光老化和/或真皮色素沉着抑制剂、抗光老化和/或真皮色素沉着抑制剂的筛选方法、抗光老化和/或真皮色素沉着抑制美容处置的评价方法、以及光老化和/.pdf
- 成像方法和系统.pdf
- 具有通过硫酸钡改进的阻燃性的导热聚碳酸酯.pdf
- 用于组织止血或闭合的医疗器械.pdf
- 照明设备.pdf
- 用于管理账户的用户界面.pdf
- 保护电池装置的方法.pdf
- 抗微生物涂层.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18233.4-2024信息技术 用户建筑群通用布缆 第4部分:住宅.pdf
- GB/T 18233.4-2024信息技术 用户建筑群通用布缆 第4部分:住宅.pdf
- GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计.pdf
- 《GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计.pdf
- GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置.pdf
- 《GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置.pdf
- GB/T 17889.4-2024梯子 第4部分:铰链梯.pdf
- 《GB/T 17889.4-2024梯子 第4部分:铰链梯》.pdf
文档评论(0)