一种基于调控导电丝生长的选择器性能优化方法及应用.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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一种基于调控导电丝生长的选择器性能优化方法及应用.pdf

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本发明公开了一种基于调控导电丝生长的选择器性能优化方法及应用，包括：在选择器的阻变层和顶电极之间引入中间电极层；其中，顶电极中的活性电极材料为Ag或Cu；阻变层材料为薄层氧化物或经过氧处理的薄层二维材料；中间电极层材料为钛、钽、铝等活性电极材料；中间电极层与阻变层接触时，中间电极层中的活性电极材料会夺取阻变层中的氧发生氧化作用从而转变为非晶氧化层，以限制来源于顶电极中的活性阳离子迁移，从而限制导电丝的生长；且中间电极层为厚度不均的薄膜，与顶电极的接触面不平整，使得顶电极与阻变层之间形成点接触，导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113793899 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202110961205.6 (22)申请日 2021.08.20 (71)申请人华中科技大学地址