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本发明公开了一种设有表面织构化金刚石涂层的动密封环的制备方法,包括以下步骤:(1)在动密封环基体表面通过热丝化学气相沉积金刚石涂层;(2)采用飞秒激光对金刚石涂层进行抛光处理;(3)对抛光后的动密封环基体表面进行激光表面织构化处理。首先,利用本发明热丝化学气相沉积法制得的金刚石涂层致密均匀,结合力强;其次,飞秒激光抛光处理显著降低了金刚石涂层的表面粗糙度,缓解了生长应力,提高了金刚石涂层的可加工性;最后,激光刻蚀织构化处理得到涂层表面排列规则的凹坑或条纹图案,可以提高动密封环承载能力、降低磨粒磨
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113770536 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111032946.2 C23C 16/56 (2006.01)
(22)申请日 2
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