一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的非易失性回音壁模式全光开关及其制作方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的非易失性回音壁模式全光开关及其制作方法.pdf

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本发明提供了一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的非易失性回音壁模式全光开关及其制备方法，包括如下步骤：S1：利用标准单模光纤进行直径125μm回音壁模式初始光纤微球谐振腔的制备；S2：磁控溅射系统在光纤微球上溅射厚度为50nm±1nm的Ge2Sb2Te5相变材料，制备Ge2Sb2Te5功能化微球谐振腔；S3：光纤探针引导功率不同、脉冲数恒定的532nm脉冲激光对Ge2Sb2Te5功能化微球谐振腔进行光开光调制。本发明借助于光纤体积小、易集成优势，基于GST相变材的料回音壁模式光纤微球可进行级联与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113777807 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202111044421.0 (22)申请日 2021.09.07 (71)申请人哈尔滨工程大学