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本发明提供一种透过率或反射率测量仪及其测量方法，解决现有光学元件透过率或反射率测试方法，只适用于高反或高透光学元件，探测器误差和光源稳定性对测量结果影响较大的问题。测量仪包括激光光源、设在激光光源出射光路上起偏器和分光镜、旋转单元、第一探测器、第二探测器和信号单元；衰减轮盘、第一探测器依次位于分光镜反射光路上；旋转单元包括定距转轴、二维扫描机构和环形滑轨；定距转轴位于分光镜透射光路上；二维扫描机构设在定距转轴上，用于安装被测光学元件；环形滑轨与定距转轴同轴并设在定距转轴外侧；第二探测器能够在环形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113776786 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111093944.4
(22)申请日 2021.09.17
(71)申请人 中国科学院西安光学精密机械研究
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