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本发明公开一种CuNi‑Al‑Mo蚀刻液,包含:硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂;其中,按重量百分比计,硝酸的含量为2wt%,硫酸的含量为12wt%,有机酸的含量为25wt%‑40wt%,硝酸盐化合物的含量为1.8wt%‑3.2wt%,助剂的含量为0.05wt%‑0.3wt%,其余为水。本发明可有效降低CuNi金属层的蚀刻速率及侧向蚀刻造成的CDLoss,能同时满足最上层的CuNi金属层图案不被过蚀刻。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113774382 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111000708.3
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 漳州思美科新材料有限公司
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