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超结功率器件及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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超结功率器件及其制备方法.pdf

    本发明提供一种超结功率器件及其制备方法，可在形成第一导电类型外延层之后通过添加超结掩膜版、形成第二导电类型阱之前或之后通过阱掩膜版，及在形成接触结构之前或之后通过接触掩膜版，即可形成包括元胞区第二导电类型浮岛及终端区第二导电类型浮岛，及终端区第二导电类型柱及终端区第二导电类型柱，无需进行多次外延工艺，且无需进行深沟道刻蚀，制备工艺简单，成本低，成品率及可靠性较高；元胞区第二导电类型浮岛及元胞区第二导电类型柱，可提高功率器件的击穿电压，降低米勒电容和输入电容，降低导通电阻，且终端区第二导电类型浮岛

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808943 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 20201

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