使用等离子体处理衬底的设备及改善晶圆薄膜表面形貌的方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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使用等离子体处理衬底的设备及改善晶圆薄膜表面形貌的方法.pdf

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本发明公开了一种使用等离子体处理衬底的设备及改善晶圆薄膜表面形貌的方法，其中，设备由一个衬底支撑件和多个陶瓷件构成，且各个陶瓷件具有不同高度的侧壁，每个陶瓷件均可活动套装在衬底支撑件的外周，通过上述的结构设计，可通过更换套装在衬底支撑件外周的陶瓷件，以实现衬底支撑件侧壁面积的调整，使用时，实现等离子体分布的改变，使得沉积速率和均匀性也随之改变，从而改变薄膜边缘的形貌，即通过设备硬件的结构调整可实现制备的晶圆薄膜形貌的改变；所述改善晶圆薄膜表面形貌的方法，是基于上述设备获得的；上述使用等离子体处理

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802111 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202010538700.1 (22)申请日 2020.06.13 (71)申请人拓荆科技股份有限公司

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