原创力文档- 2
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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种电子回旋共振放电装置及应用，包括馈电波导、波导功率分配器、微波天线以及放电室，馈电波导与放电室的放电腔体垂直，通过波导功率分配器与微波天线连接；波导功率分配器选用Y形功率分配器，对称设置于微波天线上表面；椭圆形的微波天线设置于放电室顶部，阵列设置有多个缝隙；放电室侧壁上设置进气口，进气口用于向放电室通入工作气体；工作时，微波源产生的微波从馈电波导端口输入，经过功率分配器传输给微波天线，通过缝隙在放电室击穿所述工作气体并产生等离子体。该装置解决了现有技术中存在的结构复杂、操作不便、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116390320 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310620304.7
(22)申请日 2023.05.30
(71)申请人 安徽农业大学
地址 230036
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