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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明提供了一种MEMS扬声器，MEMS扬声器包括衬底，衬底具有相对设置的顶壁和底壁，以及自顶壁至底壁贯穿衬底的空腔；耦合件，耦合件包括固定于顶壁的本体部、由本体部向空腔延伸的悬臂梁以及与悬臂梁远离本体部一端连接的质量块；振膜，振膜固定于耦合件远离顶壁一侧并与耦合件共同围合形成振动面，振动面沿振膜的振动方向封闭空腔；驱动器，驱动器固定于耦合件并驱动振动面振动发声。该MEMS扬声器中振膜与耦合件共同围合形成振动面，并通过固定于耦合件的驱动器直接驱动振动发声，能够获得更好的发声效果，此外，通过调节质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113630703 A
(43)申请公布日 2021.11.09
(21)申请号 202110997247.5
(22)申请日 2021.08.27
(71)申请人 瑞声
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