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本发明涉及一种检测晶舟盒内晶圆位置的设备，包括检测组件、挡板、板拆装组件、翻转组件以及输送带，所述检测组件能够于输送带上进行升降调节，所述挡板端面转动连接有多组转动环，每组所述转动环均为两个且均插接带有卡紧部的调节柱，所述调节柱与转动环弹性连接，且所述调节柱设置有与转动环配合的锁结构，当所述卡紧部贴合晶舟盒的上端下侧面时，所述调节柱通过锁结构与转动环锁紧；本发明具有避免晶圆损坏的优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116387175 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310668096.8 G01N 21/95 (2006.01)
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