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本发明涉及一种含TMAH显影废液的处理装置及其处理工艺。本发明装置包括依次布置的废液储槽、反应装置、中和装置和固液分离装置；所述的废液储槽连接于反应装置的上部，反应装置的上部还连接有第一加药装置，所述的第一加药装置包括硫酸进口槽、硫酸亚铁进口槽和过硫酸钾进口槽，反应装置的下部与中和装置的上部连接，中和装置的上部还连接有第二加药装置，所述的第二加药装置包括氢氧化钙进口槽和氢氧化钠进口槽，中和装置的下部连接固液分离装置，所述的反应装置和中和装置的上部还连接有气体处理装置；所述的气体处理装置包括依次布
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113788563 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111130510.7
(22)申请日 2021.09.26
(71)申请人 安徽浩悦环境科技有限责任公司
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