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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种电子束蒸发台多功能观察窗，属于电子束蒸发台观察窗技术领域，包括圆型遮板和矩形通口，所述矩形通口开设在所述圆型遮板上且所述矩形通口对角线交点位于所述圆型遮板圆心处，所述圆型遮板的一侧且位于所述矩形通口两边部处分别安装有第一中空条型侧架和第二中空条型侧架，通过启动旋转驱动组件可以调节上反光镜支架和下反光镜支架的角度以便于进行观察，通过清理杆驱动组件驱动清理杆组件可以清理上反光镜支架和下反光镜支架上的反光镜上的金属粒，并通过金属粒收集组件进行收集。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113802096 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110959365.7
(22)申请日 2021.08.20
(71)申请人 无锡芯谱半导体科技有限公司
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