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一种晶圆电镀预处理设备、系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种晶圆电镀预处理设备、系统及方法.pdf

    本发明提供了一种晶圆电镀预处理设备、系统及方法，其中，晶圆电镀预处理设备包括工艺槽体和角度倾斜系统；工艺槽体的内部具有用于盛放处理液的工艺腔，工艺腔内设有卡持晶圆的夹持部；角度倾斜系统与工艺槽体连接，角度倾斜系统能够驱动工艺槽体整体旋转。本发明提供的晶圆电镀预处理设备、系统及方法，操作简单，通过角度倾斜系统的设计，使得在预处理过程中，晶圆随工艺槽体一同倾斜及摆动，有利于孔洞中的空气被处理液置换并溢出，实现极好的预处理效果，同时，由于角度倾斜系统位于工艺槽体外部，这一方面大大提高了工艺槽体的密封性

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113789562 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111228741.1 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人 新阳

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