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2023-07-05 发布于四川
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一种表面清洁度测试装置和测试方法.pdf

本发明公开了一种表面清洁度测试装置和测试方法，属于半导体及晶圆、OLED等高精密加工领域的技术领域。它包括背景光源、同向光源、支架、同轴环形光源、棱镜、棱镜固定支架、液滴、被测试样品和成像系统，棱镜通过顶丝固定螺丝固定到棱镜固定支架上。通过顶视、侧视多视角的同一图像中成像，实现了UV分析、红外分析、表面结构分析、3D接触角分析的有效组合测量，对于评估固体材料的物理化学性质，特别是对于客观存在的表面粗糙度、化学多样性和表面结构导致的表面清洁度误判的解决，提高表面清洁度测试的精度和可靠性，均具有极大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804589 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111150062.7 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人上海梭伦信息科技有限公司

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