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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种基于相关系数匹配的曲率半径测量方法,包括(1)干涉图预处理;(2)初始曲率半径求解;(3)相关系数求解,以R∈{R初±ΔR}为索引范围,仿真出索引范围内每一个曲率半径R对应的牛顿环干涉图IR(x,y),分别计算IR(x,y)与I1(x,y)的相关系数,找出相关系数最大值对应的曲率半径R,即为待测球面镜的曲率半径。本发明采用单幅牛顿环干涉图,根据暗环半径求得一个初始曲率半径,由初始曲率半径设置索引范围,再进行相关系数匹配出高精度的待测曲率半径,其测量过程简单高效,避免了因繁琐的调试
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113806678 B
(45)授权公告日 2022.08.26
(21)申请号 202111042933.3 G06F 30/20 (2020.01)
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