吸附及对准方法、吸附系统、成膜方法及装置、电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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吸附及对准方法、吸附系统、成膜方法及装置、电子器件的制造方法.pdf

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本发明涉及吸附及对准方法、吸附系统、成膜方法及装置、电子器件的制造方法。本发明的吸附及对准方法是使用静电吸盘的被吸附体的吸附及对准方法，包括：利用所述静电吸盘吸附第一被吸附体的阶段；调整第二被吸附体与被所述静电吸盘吸附的所述第一被吸附体之间的相对位置偏移的对准阶段；以及利用所述静电吸盘，隔着所述第一被吸附体吸附被调整了相对于所述第一被吸附体的相对位置偏移的所述第二被吸附体的阶段，所述对准阶段在利用所述静电吸盘进行所述第一被吸附体的吸附的中途开始。根据本发明，可以在更短时间内进入成膜工序，减少装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111128828 A (43)申请公布日 2020.05.08 (21)申请号 20191