MEMS压电打印喷头、打印装置及制备喷头的方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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MEMS压电打印喷头、打印装置及制备喷头的方法.pdf

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本申请属于喷墨打印技术和集成电路微纳系统技术领域，具体涉及一种MEMS压电打印喷头、打印装置及制备喷头的方法。该MEMS压电打印喷头包含盖板，盖板具备第一主面与第二主面，第一主面设有沟槽，第二主面设有压电驱动部件；该喷头还包含底板，底板上设有进墨孔、第一流道、第二流道，及与第二流道相邻的喷孔，第二流道具备远离喷孔的进口端及靠近喷孔的出口端，第二流道的宽度自进口端向出口端延伸时依次递减；盖板与底板围合形成喷头，沟槽形成压力腔，第一流道形成储墨腔，第二流道形成阻尼腔。包含该结构的MEMS压电打印喷头

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116373460 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310301029.2 (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人北京大学地址 100871