一种用于刻蚀机的具有冷却结构的内衬及其加工方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种用于刻蚀机的具有冷却结构的内衬及其加工方法.pdf

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本发明提供一种用于刻蚀机的具有冷却结构的内衬，包括内衬本体，所述内衬本体包括第一端部和第二端部，所述第一端部内交叉设置有多个经过阳极氧化处理的贯穿第一端部的冷却液道，所述冷却液道彼此之间相通，每个所述冷却液道的两端各设有1个经过阳极氧化处理的密封堵头，所述第一端部上还设有进液孔和出液孔，所述进液孔和出液孔与冷却液道相通，所述进液孔和出液孔之间设有经过阳极氧化处理的液道隔离塞，所述液道隔离塞将冷却液道分隔为进液道和出液道，所述密封堵头和液道隔离塞均为铝合金材质。本发明还提供一种用于刻蚀机的具有冷却

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113793793 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202111084289.6 (56)对比文件 (22)申请日 2021.09.15