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本发明公开了叠层型压电陶瓷高速偏摆镜结构及其制造工艺,叠层型压电陶瓷高速偏摆镜结构包括上绝缘层、下绝缘层以及位于上绝缘层和下绝缘层之间的正电极整体层、负电极整体层以及压电介质层,正电极整体层和负电极整体层在上绝缘层、下绝缘层形成的空间内交替分布,压电介质层位于二者之间。现有摆镜结构利用陶瓷元件和机械结构组成,构成零件多,组装工艺复杂,由于机械零件的固有频率都很低,摆镜的工作速度都是在毫秒级时间内,现有的结构,尺寸大,质量重,无法满足高速运行的要求。本发明摒弃机械元件,无弹簧拉力,全瓷一体共烧结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113794400 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111088784.4
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 黑龙江迪米电陶科技有限公司
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