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用于在具有旋转叶片与气体注入的固定空腔室中涂覆粒子的反应器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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用于在具有旋转叶片与气体注入的固定空腔室中涂覆粒子的反应器.pdf

    一种涂覆粒子的反应器，包括：用于保持待涂覆粒子的床的固定的真空腔室，固定的真空腔室具有形成半圆柱体的下部和上部；位于腔室的上部中的真空端口；叶片组件；用于使叶片组件的驱动轴旋转的电机；用于输送第一流体的化学物质输送系统；以及第一气体注入组件，第一气体注入组件用于从化学物质输送系统接收第一流体，并且具有孔，孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入腔室的下部，并使得第一反应物或前驱物气体实质上与半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811636 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202080034855.X 夸克 ·特伦　戈文德拉 ·德赛　

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