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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种获取鳍式场效应管寄生电容波动模型的方法。通过TCAD仿真所获得的鳍式场效应管电场分布，获取寄生电容解析模型，之后利用统计阻抗场法获取寄生电容受工艺波动影响的数据，仿真数据校准拟合后，生成考虑工艺波动的寄生电容波动模型。该方法能够减少仿真工艺波动所需的大量计算，并且能够以统计分布的形式较为准确地表现工艺波动对寄生电容的影响。通过鳍式场效应管寄生电容波动模型，可以在不需要大量计算的情况下预估寄生电容的波动情况，解决考虑工艺波动条件下的电路设计的阈值、故障率、成品率等问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116384330 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202310332561.0
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 东南大学
地址 211102
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