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头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理系统.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理系统.pdf

    本申请提供利用位置同步来确定基准位置，并且根据基准位置对齐多个头部模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理系统。头部对齐装置包括：基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及安装位置确定部，基于第一基准位置确定喷墨头模块的第二基准位置，以使喷墨头模块能够从当前位置移动到第二基准位置，其中基准位置确定部利用设置在与喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定所述第一基准位置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113799492 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110569703.6 (22)申请日 2021.05.25 (30)优先权数据 10-2020-0

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