离子检测器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本发明的一种离子检测器,其具备:微通道板,其用于接受离子的入射而产生二次电子,将产生的所述二次电子倍增并输出;多个电子冲击型二极管,其具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域,用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射,将入射的所述二次电子倍增并且检测;聚焦电极,其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间,用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子;以及电压供给部,其向所述多个电子冲击型二极管的各个施加驱动电压。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808903 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110647459.0 (22)申请日 2021.06.10 (30)优先权数据

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