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离子检测器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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离子检测器.pdf

    本发明的一种离子检测器具备：微通道板，其用于接受离子的入射而产生二次电子，将产生的所述二次电子倍增并输出；多个电子冲击型二极管，其在面向所述微通道板侧的电子入射面具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域，用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射，将入射的上述二次电子倍增并且检测；以及聚焦电极，其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间，用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子，所述多个电子冲击型二极管中的彼此相邻的至少一对上述电子冲击型二极管以通过彼此的所述电子入射面形成向所述微

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808904 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110647597.9 (22)申请日 2021.06.10 (30)优先权数据

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