一种激光剥蚀装置及样品池、样品杯.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种激光剥蚀装置及样品池、样品杯.pdf

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本发明公开了一种激光剥蚀装置，包括激光发射器、三维振镜系统、场镜和样品台；所述三维振镜系统包括移动镜头、聚焦镜头、X轴振镜和Y轴振镜；所述样品台用于盛放样品；所述激光发射器用于发射激光光束，所述激光光束通过第一光路聚焦至所述样品表面；所述移动镜头可以沿所述激光发射器发射激光光束的光轴上轴向移动，所述移动镜头通过调节与所述聚焦镜头的距离，使所述激光光束聚焦的位置在所述样品表面沿Z轴发生改变；所述X轴振镜和Y轴振镜可以分别进行高频绕轴往复转动。本发明能够自动聚焦或者通过预设的坐标进行激光剥蚀，省去人

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116372382 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310432315.2 (22)申请日 2023.04.21 (71)申请人上海凯来仪器有限公司地址 20