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一种薄膜晶体管及其制备方法.pdfVIP

一种薄膜晶体管及其制备方法.pdf

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    本发明涉及一种薄膜晶体管及其制备方法。一种薄膜晶体管的制备方法，包括：提供衬底，所述衬底包括层叠的硅层和介电层；在所述介电层上放置第一掩模板，所述第一掩模板具有镂空的图案；然后沉积有源材料，使其至少填充所述第一掩模板中的镂空区域，从而形成有图形的有源层，再移除所述第一掩模板；之后在所述有源层上形成电极阵列，得到薄膜晶体管。本发明利用掩膜板制作有源层，省去了沉积光刻胶、光刻胶图形化、有源材料腐蚀等步骤，从而避免了有源层的污染、磨损等问题，提高了器件良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808952 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110932262.1 C23C 14/04 (2006.01)

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