高密度ITO靶材粉末的处理方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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高密度ITO靶材粉末的处理方法.pdf

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本发明提供一种高密度ITO靶材粉末的处理方法，通过先对氧化锡粉末加入到砂磨机添加去离子水、分散剂和添加剂进行预磨，再将氧化锡浆料与氧化铟粉末添加去离子水、分散剂和添加剂进行砂磨，步骤二的分散剂添加量/步骤二+步骤三的分散剂添加量≤40%，这样采用一次混合成浆，周期短，密度提升明显，提升客户产品性能和使用效能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113800900 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110940440.5 (22)申请日 2021.08.17 (71)申请人芜湖