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一种双级制冷红外探测器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种双级制冷红外探测器.pdf

    本发明提供了一种双级制冷红外探测器，包括双级制冷组件和封装杜瓦，所述双级制冷组件包括外壳以及真空封装于外壳内的MEMS节流制冷器和半导体制冷器，MEMS节流制冷器贴装于半导体制冷器的冷端，所述封装杜瓦包括窗框以及真空封装于窗框内的冷屏和芯片，窗框固设于外壳上，芯片贴装于T型导热块上，T型导热块和冷屏的底部均固设于MEMS节流制冷器上。该发明采用MEMS节流制冷器对光学结构器件进行制冷，相比传统的机械式节流探测器，大大减小了本身热质量，同时还采用半导体制冷器对MEMS节流制冷器进行一级预冷，有效解

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113793878 B (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202111370033.1 (51) Int.C l.

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