基于深度学习的小样本不平衡晶圆数据的缺陷分类方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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基于深度学习的小样本不平衡晶圆数据的缺陷分类方法.pdf

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本发明涉及一种基于深度学习的小样本不平衡晶圆数据的缺陷分类方法，包括以下步骤：获取原始晶圆数据并进行预处理与降采样；对预处理后的晶圆数据集中的有标记数据划分深度学习网络的训练集和测试集；搭建深度学习网络并基于训练集和未标记数据进行训练，在测试集上进行分类准确率验证，得到半监督学习分类器；使用半监督学习分类器为晶圆数据集中的未标记数据生成伪标签，将伪标签数据与原训练集合并获得新的训练数据集，基于新的训练数据集重新训练深度学习网络，并在测试集上进行分类准确率验证，采用重新训练完成的深度学习网络进行缺

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116385778 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310270642.2 (22)申请日 2023.03.20 (71)申请人同济大学