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本发明涉及曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框及下铬板固定框，以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱，上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接，该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时，上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。本发明可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移，继续保持精确的对位状态，提升曝光生产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113795081 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111077547.8
(22)申请日 2021.09.15
(71)申请人 东莞市友辉光电科技有限公司
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