喷墨打印头.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本发明提供一种喷墨打印头,其包括:致动器基板,其具有包含压力室的墨流路;可动膜形成层,其包含配置在压力室上且界定压力室的顶面部的可动膜;压电元件,其包含配置在可动膜上的下部电极、形成在下部电极上的压电体膜和形成在压电体膜上的上部电极;氢阻挡膜,其覆盖压电元件的表面之中的至少上部电极和压电体膜的侧面整个区域;以覆盖氢阻挡膜的方式形成在可动膜形成层上的层间绝缘膜;和形成在层间绝缘膜上的与压电元件连接的配线,在配线的中途插入有保险丝。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116391460 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202180078223.8 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限

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