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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明提供生成方法、估计方法、生成装置以及估计装置。进行器件的加工的实验，取得表示加工的条件的第1种信息以及第2种信息、和表示加工的结果的第3种信息以及第4种信息(步骤S121)，导出第1种信息、第2种信息以及第3种信息的第1关系、和第1种信息、第2种信息以及第4种信息的第2关系(步骤S122)，生成并输出如下模型：将加工时已被测量的第2种信息以及第3种信息作为输入，使用第1关系以及第2关系来估计表示加工的结果的第4种信息(步骤S123)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113806875 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110634429.6
(22)申请日 2021.06.07
(30)优先权数据
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