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一种梯形氮化镓微米线阵列光电探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种梯形氮化镓微米线阵列光电探测器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种梯形氮化镓微米线阵列光电探测器及其制备方法，该探测器包括：硅衬底；二氧化硅绝缘层，间隔形成在所述硅衬底上，以使未覆盖所述二氧化硅绝缘层的衬底上形成若干凹槽结构；氮化镓微米线，形成在所述凹槽结构内，并且所述微米线延伸方向与凹槽结构延伸方向一致，并且使得氮化镓微米线高于所述二氧化硅绝缘层；氮化铝缓冲层，形成在所述凹槽结构的氮化镓微米线内部；若干金属电极，设置在所述氮化镓微米线和所述二氧化硅绝缘层上方且与所述凹槽结构方向垂直。该光电探测器的光/暗电流高、响应迅速、开/关电流比高以及探测

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809192 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110920163.1 (22)申请日 2021.08.11 (71)申请人 浙江

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