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本发明披露了一设备和形成该设备的方法，即可扩展的热电式红外探测器。该方法包括提供制备有晶体管和传感器区域的衬底。通过以下方法处理衬底：在衬底中形成下传感器腔，用牺牲材料填充下传感器腔，在传感器区域中形成介电膜，在晶体管区域中形成晶体管以及形成微电机械系统（MEMS）组件在传感器区域中的介电膜上。该方法通过形成具有多个层间介电（ILD）层的后段线（BEOL）电介质而继续，该ILD层具有设置在衬底上用于互连设备部件的金属层和通孔层。金属层中的金属线被配置成在下传感器腔上方限定上传感器腔，并且BEOL
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109052306 A
(43)申请公布日
2018.12.21
(21)申请号 20181
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