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一种基片旋转式处理设备及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种基片旋转式处理设备及方法.pdf

    本发明公开了一种基片旋转式处理设备及方法。其中设备包括旋转台、多组夹持机构，每组夹持机构均包括：卡盘销，能够沿旋转台的径向相对滑动地设置；传感器，固设于卡盘销上；驱动组件，用于驱动卡盘销运动；该设备还包括处理器，与传感器、驱动组件分别电性连接或讯号连接。方法包括如下步骤：（1）将基片放置在旋转台上；（2）驱动组件驱动卡盘销向内滑动，传感器抵靠在基片上；（3）旋转台带动基片旋转，传感器实时检测压力并发出检测信号F，处理器分析得到分析结果再控制驱动组件驱动卡盘销运动。本发明能够实现夹持压力的实时调整

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808974 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111042884.3 (22)申请日 2021.09.07 (71)申请人 江苏芯梦半导体设备有限公司

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