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一种具有复合膜层的声表面波装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种具有复合膜层的声表面波装置.pdf

    本发明公开了一种具有复合膜层的声表面波装置，涉及声表面波器件领域，该声表面波装置复合膜层和叉指电极，叉指电极形成于复合膜层上方，复合膜层中的任意一个界面处形成有图案化结构，图案化结构为凹槽阵列图形，凹槽阵列图形呈定周期或变周期分布。通过在复合膜层中的任意一个界面处采用刻蚀工艺进行图形化处理，形成凹槽结构，可以有效散射高阶杂波响应，通过调节图形的深度与径向大小，可以减小甚至消除不同频段的高阶杂波，提高阻带抑制能力。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113794458 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111087051.9 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 无锡市好达电子股份有限公司

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