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具有多值存储特性的非易失性相变铁电晶体管及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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具有多值存储特性的非易失性相变铁电晶体管及制备方法.pdf

    本发明公开了一种具有多值存储特性的非易失性相变铁电晶体管及其制备方法，所述晶体管包括衬底、源极、漏极、介电层、铁电层、相变材料层和栅电极层，其中，所述源极和所述漏极分别嵌入在所述衬底上表面左右两侧；所述介电层、所述铁电层、所述相变材料层和所述栅电极层自下而上依次设置在位于所述源极与所述漏极之间的介电层上表面；所述铁电层采用具有非易失性极化翻转特性的铁电材料。本发明能够在不产生高功耗情况下通过材料的铁电极化和相变实现非易失性多值存储。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116390635 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310176088.1 (22)申请日 2023.02.27 (71)申请人 西安电子科技大学 地址 7100

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