用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法.pdfVIP

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2023-07-06 发布于四川
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用于处理具有松弛正弯的碳化硅晶片的方法.pdf

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公开了碳化硅(SiC)晶片(8A)和相关方法，其包括配置以减少与由于重力或先前存在的结晶应力所造成的这些晶片(8A)的变形、弯曲或下垂有关的生产问题的故意或强加的晶片(8A)形状。故意或强加的晶片(8A)形状可以包括具有相对于其硅面的松弛正弯的SiC晶片(8A)。以这种方式，可以降低与SiC晶片(8A)，并且具体地大面积SiC晶片(8A)的变形、弯曲或下垂有关的影响。公开了用于提供具有松弛正弯的SiC晶片(8A)的相关方法，所述方法提供了减小的块状晶体材料(70、90、92A、92)的切割损失。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113825602 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080036469.4 (74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限

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