原创力文档- 0
- 0
- 约1.92万字
- 约 19页
- 2023-07-06 发布于四川
- 举报
本发明提供接触解除方法和检查装置，在将探针按压在基片上使二者接触来进行基片检查时，无需降低按压力就能够防止解除接触时产生较长的接触痕。该方法用于在对基片进行检查的检查装置中解除检查用的探针与基片之间的接触，在探针按压于基片而与之接触的状态下，由载置部件、筒状部件和探针卡包围的检查空间被减压并且经密封部将载置部件吸附保持于筒状部件，包括：使位置对准机构上升至预定位置来靠近载置部件的步骤；停止检查空间的减压，并以探针对基片的按压状态下的接触不被解除的方式利用位置对准机构支承载置部件的步骤；使保持了载
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113823577 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202110642553.7
(22)申请日 2021.06.09
(30)优先权数据
2020-1060
文档评论（0）