原创力文档- 3
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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明提供了一种加热装置及其适用的蒸镀设备。加热装置包括坩埚、导热元件以及加热元件。坩埚包括底面、开口与该底面相对以及容置空间用以容纳待蒸镀材料。导热元件设置在坩埚的容置空间内，且导热元件设置在底面上并朝向开口延伸，而加热元件邻近坩埚设置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113817989 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202010683423.3
(22)申请日 2020.07.15
(30)优先权数据
109120539
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