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功率器件及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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功率器件及制备方法.pdf

    本发明公开了一种功率器件及制备方法，功率器件包括：衬底；外延叠层结构，所述外延叠层结构包括依次叠置的第一外延层、第二外延层及第三外延层；所述第一外延层位于所述衬底的表面；沟槽晶体管，所述沟槽晶体管包括栅极沟槽及栅极结构，所述栅极沟槽位于所述外延叠层结构内；栅极结构，位于所述栅极沟槽内；其中，所述栅极沟槽的深度与所述第三外延层的厚度一致。第三外延层的电阻率变化不会影响耗尽层物理状态，即，反压保持不变，本申请提出的功率器件中保障反压不变的前提下，调低第三外延层的电阻率，从而降低导通电阻，提升能量雪崩

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113838910 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202110975597.1 (22)申请日 2021.08.24 (71)申请人 深圳

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