一种精密运动气浮支撑装置.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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本发明涉及精密运动技术领域,公开了一种精密运动气浮支撑装置,其包括基座、导轨和支撑框架,导轨水平设置于基座上并与基座固定连接,支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动,支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板,侧向气浮板设有两块,两块侧向气浮板对称设置,侧向气浮板内设有侧向气路,侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔,底部气浮板内设有底面气路,底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比,该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠,进排气孔与气路设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113833763 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111110723.3 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址

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