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本发明涉及微加工技术领域,尤其涉及一种微纳特征的压印方法,包括模具制备步骤以及压印与脱模步骤,通过操控引线键合仪的电子打火促使金属丝末端形成金属球,并利用键合力和键合温度促使原始模具表面的微纳特征压印在金属球的压印平面,以构成金属球模具,最后通过金属球模具把微纳特征压印至目标基底表面的掩膜层,所述模具制备步骤以及压印与脱模步骤通过标准引线键合仪完成,从而实现了不同微纳尺度特征从原始模具向目标基底的灵活、高效转移;相比于光刻和纳米压印等现有方法,本发明提供的方法具有所需原始模具数量少,且可灵活选取
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113835295 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111054765.X
(22)申请日 2021.09.09
(71)申请人 中国人民解放军军事科学院国防科
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