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一种SAW谐振装置包括:压电基底;电极层,位于压电基底上,电极层包括IDT,IDT包括第一总线、多个第一电极条、第二总线及多个第二电极条,多个第一电极条的第一端连接第一总线,第一端相对的多个第一电极条的第二端靠近第二总线,第二端与第二总线之间为第一间隙,多个第二电极条的第三端连接第二总线,第三端相对的多个第二电极条的第四端靠近第一总线,第四端与第一总线之间为第二间隙;第一负载层,位于第四端上方,靠近第一端及第二间隙;第一介质层,位于电极层上方,覆盖第一负载层;第二负载层,位于第一介质层上,第二负
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113839648 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111075400.5
(22)申请日 2021.09.14
(71)申请人 常州承芯半导体有限公司
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