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卡盘工作台.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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卡盘工作台.pdf

    本发明提供卡盘工作台，即使在将被加工物分割成小的芯片的情况下，也能够抑制切削刀具的消耗并且高精度地切削被加工物。卡盘工作台安装于利用切削刀具对被加工物进行切削的切削装置的工作台基座上，在沿着分割预定线对被加工物进行切削而分割成多个芯片时对被加工物进行保持，该卡盘工作台包含：第1层，其由动态粘弹性模量为0.16以上且0.8以下的橡胶形成；以及第2层，其被第1层支承，由相对于被加工物的静摩擦系数为1以上的橡胶形成，第2层具有：上部的保持面，其在对被加工物进行保持时与被加工物接触；退刀槽的开口部，其按

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113858457 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110709939.5 H01L 21/683 (2006.01)

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